クリーンルームの仕組みについて

query_builder 2021/12/26
コラム
7

常に清浄度が保たれている空間をクリーンルームと言いますが、どのようにして清浄度が保たれているのか気になりますよね。
そこで今回は、クリーンルームの仕組みをご紹介していきます。

▼クリーンルームの仕組み
■空間を密閉する
外にはさまざまな浮遊物が存在するので、クリーンルームへの侵入を防ぐために密閉する必要があります。
もちろん出入り口があるので人の出入りは可能ですが、「そこから外の空気が入るのでは?」と思う方もいるでしょう。
しかし、クリーンルームは外よりも気圧が高くなるよう設定されているので、外の空気が入ってくることはありません。

■外からきれいな空気を入れる
外から空気が入ってこないということは、手動で空気を入れなければなりません。
クリーンルーム内に送る空気は、何重にもなったフィルターを通して不純物を取り除いた状態で室内に送られます。
これにより、クリーンルーム内にきれいな空気が送られているのです。

■室内の空気を排気する
クリーンルーム内に空気を入れることで圧力を管理していますが、入れっぱなしだと圧力が高くなりすぎてしまいます。
また、クリーンルーム内でも異物が発生するので、それを取り除かなければなりません。
そのために、クリーンルームには排気経路が設置されています。
そこから室内の異物を排気し、常にクリーンルーム内の清浄度を保っているのです。

▼まとめ
クリーンルームは、次のような仕組みになっています。
・空間を密閉する
・外からきれいな空気を入れる
・室内の空気を排気する

これらが全て正常に働くことで、クリーンルーム内の清浄度が保たれているのです。

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